Menetelmät / VPD ICP-MS

VPD ICP-MS-analyysi

Höyryfaasihajoaminen - induktiivisesti kytketty plasma - massaspektrometria eli VPD ICP-MS on yhdistetty näytteenkäsittely- ja analyysitekniikka, jota käytetään puolijohdeteollisuudessa metallisten epäpuhtauksien pitoisuuden määrittämiseen piikiekkojen ja ohutkalvojen pinnalta. Tekniikka mahdollistaa epäpuhtauksien erottamisen ja kvantifioinnin erittäin pieninä määrinä.

…ja yli 1000 muuta tyytyväistä asiakasta

Tilaa analyysit Measurlabsilta

VPD ICP-MS

VPD ICP-MS-menetelmällä voidaan havaita häviävän pienet metalliset epäpuhtaudet piikiekkojen ja ohutkalvojen pinnoilta. Analyysi perustuu näytteen pintakerroksen liuottamiseen, minkä jälkeen metallien pitoisuudet mitataan liuoksesta. Kiekon reuna-alue (esim. uloimmat 2 mm tai 5 mm) voidaan pyydettäessä jättää mittauksen ulkopuolelle. Tarjoamme analyysipaketteja laajalle valikoimalle alkuaineita: 58 alkuaineen analyysi: Al, As, B, Ba, Be, Bi, Ca, Cd, Ce, Co, Cr, Cs, Cu, Dy, Er, Eu, Fe, Ga, Gd, Ge, Hf, Hg, Ho, In, K, La, Li, Lu, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Nd, Ni, Pb, Pr, Rb, Sb, Sc, Se, Sm, Sn, Sr, Ta, Tb, Te, Th, Ti, Tl, Tm, U, V, W, Y, Yb, Zn, Zr., 41 alkuaineen analyysi: Al, As, B, Ba, Be, Bi, Ca, Cd, Co, Cr, Cs, Cu, Ga, Ge, Fe, Hf, Ir, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Ni, Pb, Re, Sb, Sn, Sr, Ta, Te, Th, Ti, Tl, U, W, V, Y, Zn, Zr, 30 alkuaineen analyysi: Al, As, B, Ba, Be, Bi, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Ga, Ge, Fe, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Ni, Pb, Sb, Sn, Sr, Ti, W, V, Zn, Zr, Vapaavalintainen 30 alkuaineen analyysi: mitkä tahansa 30 alkuainetta täydeltä 58 alkuaineen listalta., Jalometallit: jalometallien lisäys mihin tahansa analyysipakettiin Ag, Au, Pd, Pt, Rh, Ru, Ag, Au, Pt, Pd.. Paketteja voidaan tarvittaessa laajentaa muilla alkuaineilla. Huomioithan kuitenkin, ettei ICP-MS-tekniikalla voida havaita monia kevyitä alkuaineita (mm. H, C, N, F ja O)., Määritysraja on ppm–ppb-tasoa (106–1010at/cm2).. Mittaus on suunniteltu 100, 150, 200 ja 300 mm piikiekkojen analysointiin, mutta myös muun kokoisia kiekkoja ja ohutkalvoja on mahdollista analysoida. Analyysi toteutetaan yleensä jollain seuraavista laitteista: Perkin-Elmer NexION 350S ICP-MS, Perkin-Elmer Sciex ELAN 6100 DRC II ICP-MS, Thermo Fisher iCAP TQe ICP-MS, Finnigan element2 ICP-MS. Nopeutettu, 1–3 arkipäivän läpimenoaika on mahdollinen lisämaksua vastaan. Kerro meille organisaationne mittaustarpeista ja pyydä tarjous täyttämällä alta löytyvä lomake.

378–870 €

Lue lisää

Hinnat ilmoitettu ilman arvonlisäveroa.

Mikä VPD ICP-MS analyysi on ja miten se toimii?

Höyryfaasihajoaminen (VPD) on näytteenvalmistusmenetelmä, joka liuottaa ja kondensoi sileän pinnan kaikki metalliset epäpuhtaudet liuospisaraan. Tämä mahdollistaa epäpuhtauksien uuttamisen, jolloin ne on helpompi havaita ja tunnistaa vaikka niitä olisi vain erittäin pieniä määriä. VPD-prosessi alkaa piikiekon tai muun analysoitavan materiaalin pinnan altistamisella fluorivetyhappohöyrylle. Tämä poistaa piioksidikerroksen kiekon pinnalta ja liuottaa kaikki metalliset epäpuhtaudet. Tämän jälkeen kiekon pinta skannataan skannausliuospisaralla joka kerää epäpuhtaudet yhteen pisaraan. Analyysin seuraava vaihe suoritetaan käyttämällä induktiivisesti kytkettyä plasmamassaspektrometriä (ICP-MS). ICP-MS on tehokas analyyttinen tekniikka joka kerää tietoa näytteen kemiallisista aineosista. Materiaalin VPD-esivalmistelusta kerätty nestenäyte sumutetaan massaspektrometriin. Plasma hajottaa ja ionisoi näytteen, jonka jälkeen se viedään tyhjiökammioon jossa syntyneet ionit detektoidaan ja kvantitoidaan massaspektrometrin avulla.

Mihin VPD ICP-MS-menetelmää käytetään?

VPD ICP-MS:ää käytetään piikiekkojen ja ohutkalvojen pintojen analysointiin ja pienten metallikontaminaatioiden löytämiseen. Puolijohteiden metallikontaminaatio voi vaikuttaa suuresti niiden käytettävyyteen, joten VPD ICP-MS on olennainen tekniikka kiekkojen laadunvalvonnassa.

Mitä eroa on VPD ICP-MS- ja ICP-MS-menetelmillä?

ICP-MS on universaali tekniikka, jota voidaan käyttää monenlaisten aiheiden analysointiin. Se on erityisen hyödyllinen alkuainejäämien havaitsemisessa ja tunnistamisessa, ja sitä käytetään laajasti erilaisten biologisten aineiden analyyseissä sekä kemian- ja materiaaliteollisuudessa. VPD ICP-MS puolestaan on yhdistetty uutto-analyysimenetelmä. VPD viittaa tarkemmin prosessiin, jolla analysoitava pinta esikäsitellään hajottamalla ja uuttamalla mahdolliset epäpuhtaudet analysoitaviksi. Tästä saatu näyte voidaan sitten analysoida ICP-MS-tekniikalla.

Soveltuvat näytteet ja näytteiden esivalmistelu

Höyryfaasihajoamista eli VPD:tä varten piikiekon oksidikerros poistetaan fluorivetyhapolla jonka jälkeen epäpuhtaudet kerätään talteen skannausliuospisaralla. Kiekon pinnan tulee siis liueta helposti fluorivetyhappohöyryyn. Useimmissa tapauksissa kiekon pinta koostuu uhrautuvasta oksidikerroksesta, joten tämä ei ole ongelma. ICP-MS-tekniikalla pystytään mittaamaan useimmat metallit ja jotkut metalloidit ja epämetallit.

Tarvitsetko analyysipalveluja?

Measurlabs tarjoaa laadukkaita VPD ICP-MS-analyysejä kilpailukykyiseen hintaan - etenkin suurille näytemäärille tai toistuviin testaustarpeisiin. Käsittelemme suuretkin näytemäärät tehokkaasti ja saat meiltä VPD ICP-MS-mittausten lisäksi kaikki muutkin ohutkalvojen laadunvalvontaan ja tuotekehitykseen tarvittavat analyysit. Täytä alta löytyvä lomake saadaksesi tarjouksen.

Soveltuvat näytematriisit

Piikiekot
Ohutkalvot
Puolijohteet
Kiinteät näytteet
Materiaalit joissa on erittäin pieniä määriä metalleja

VPD ICP-MS-menetelmän tyypilliset käyttökohteet

Metallisten epäpuhtauksien mittaaminen piikiekoista
Puolijohteiden laadunvarmistus
Erittäin pienten metallijäänteiden mittaaminen materiaaleista

Ota yhteyttä

Vastaamme viesteihin yhdessä arkipäivässä.

Onko sinulla kysymyksiä tai tarvitsetko apua? Lähetä meille sähköpostia info@measurlabs.com tai soita myyjillemme.

Usein kysytyt kysymykset

Mikä Measurlabs on?

Measurlabs tarjoaa erilaisia laboratorioanalyyseja tuotekehittäjille ja laatujohtajille. Suoritamme osan analyyseista omassa laboratoriossamme, mutta enimmäkseen ulkoistamme ne huolella valikoiduille kumppanilaboratorioille. Tällä tavoin pystymme lähettämään kunkin näytteen sille sopivimpaan laboratorioon ja tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia analyyseja yli tuhannella eri menetelmällä.

Miten palvelu toimii?

Kun otat meihin yhteyttä tarjouspyyntölomakkeella tai sähköpostilla, yksi menetelmäasiantuntijoistamme ottaa mittauksesi hoitaakseen ja vastaa mahdollisiin kysymyksiisi. Saat kirjallisen tarjouksen, jossa on kerrottu mittauksen yksityiskohdat ja osoite, johon voit lähettää näytteet. Me huolehdimme sen jälkeen näytteiden toimittamisesta oikeisiin laboratorioihin ja kirjoitamme tuloksista sinulle selkeän mittausraportin.

Kuinka lähetän näytteeni?

Näytteet toimitetaan laboratorioomme yleensä lähetillä. Varmista yksityiskohdat asiantuntijamme kanssa ennen näytteiden lähettämistä.